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華測(cè)儀器 6英寸藍(lán)寶石窗口真空探針臺(tái)的產(chǎn)品參數(shù)說(shuō)明

日期：2026-03-09 22:57
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摘要： 華測(cè)儀器 6英寸藍(lán)寶石窗口真空探針臺(tái)的產(chǎn)品參數(shù)說(shuō)明 產(chǎn)品簡(jiǎn)介 真空探針臺(tái)由華測(cè)儀器生產(chǎn)，可用于R-T，C-V，I-V，R-I，Cp-D,ε測(cè)試，可搭配源表、高阻計(jì)、直流低電阻測(cè)試儀等不同儀器，以適應(yīng)多種不同的試驗(yàn)需求，該探針臺(tái)性能穩(wěn)定，配備單筒顯微鏡與保證紫外光透光性的藍(lán)寶石材質(zhì)觀(guān)察窗口，外置真空波紋管結(jié)構(gòu)探針臂，具有多種接口，能夠?yàn)樵囼?yàn)人員提供可靠有效的幫助。 產(chǎn)品參數(shù) 腔體:高真空腔體 樣品臺(tái)尺寸:4英寸 樣品固定:彈簧壓片 觀(guān)察窗口:6英寸 觀(guān)察窗口材質(zhì)：藍(lán)寶石（保證紫外光的透光性） 真空度:2Pa 探針...
華測(cè)儀器 6英寸藍(lán)寶石窗口真空探針臺(tái)的產(chǎn)品參數(shù)說(shuō)明
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
真空探針臺(tái)由華測(cè)儀器生產(chǎn)，可用于R-T，C-V，I-V，R-I，Cp-D,ε測(cè)試，可搭配源表、高阻計(jì)、直流低電阻測(cè)試儀等不同儀器，以適應(yīng)多種不同的試驗(yàn)需求，該探針臺(tái)性能穩(wěn)定，配備單筒顯微鏡與保證紫外光透光性的藍(lán)寶石材質(zhì)觀(guān)察窗口，外置真空波紋管結(jié)構(gòu)探針臂，具有多種接口，能夠?yàn)樵囼?yàn)人員提供可靠有效的幫助。
產(chǎn)品參數(shù)
腔體:高真空腔體
樣品臺(tái)尺寸:4英寸
樣品固定:彈簧壓片
觀(guān)察窗口:6英寸
觀(guān)察窗口材質(zhì)：藍(lán)寶石（保證紫外光的透光性）
真空度:2Pa
探針臂接口:4個(gè)探針臂接口
電學(xué)測(cè)試接口:3同軸BNC*4、2同軸BNC*2\高壓接口10kV*1
輔助接口:真空接口、加熱器接口、熱電阻接口、液氮接口、保護(hù)氣接口、表面溫度熱電阻接口*2
制冷方式:液氮
溫度范圍:-196℃~600℃
溫控精度:±0.1℃
穩(wěn)定性:-196℃-常溫±0.5℃、常溫-600℃±0.2℃
產(chǎn)品尺寸:650mm長(zhǎng)*650mm寬*460mm高
重量:約100kg
光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡類(lèi)型:單筒顯微鏡
放大倍率:20X-180X
移動(dòng)行程: X軸行程100MM  Y軸行程50MM  Z軸行程50mm
光源:外置LED環(huán)形光源
CCD:2800萬(wàn)像素
顯示器:10寸LED
探針臂
X-Y-Z移動(dòng)行程:20mm*20mm*20mm
結(jié)構(gòu):外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)
移動(dòng)精度:10微米
探針組件
線(xiàn)纜:同軸線(xiàn)
接頭類(lèi)型:SMA
漏電精度:10fA
固定探針:夾緊固定
頻率支持:DC-67GHZ
針尖直徑:0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
高壓組件
線(xiàn)纜:高壓電纜10kV
接頭類(lèi)型:香蕉頭
其他組件
真空組件:機(jī)械泵

冷源組件:10L液氮罐

產(chǎn)品特點(diǎn)
01 多種接口
探針臂接口:4個(gè)探針臂接口；
電學(xué)測(cè)試接口:3同軸BNC*4、2同軸BNC*2\高壓接口10KV*1；
輔助接口:真空接口、加熱器接口、熱電阻接口、液氮接口、保護(hù)氣接口、表面溫度熱電阻接口*2。
外置探針臂-真空波紋管結(jié)構(gòu)
02 藍(lán)寶石材質(zhì)觀(guān)察窗口
藍(lán)寶石材質(zhì)的觀(guān)察窗口能夠有效保證紫外光的透光性
03 多種可搭配儀器
源表、高阻計(jì)、直流低電阻測(cè)試儀、阻抗分析儀、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀
應(yīng)用領(lǐng)域
R-T，C-V，I-V，R-I，Cp-D,ε測(cè)試

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